Roth & Rau gehört weltweit zu den führenden Anlagenherstellern für die Photovoltaik- und Halbleiterindustrie. Das Kerngeschäft umfasst dabei Entwicklung sowie Fertigung von Plasmaprozesssystemen. Zum Produktportfolio zählen PECVD-Anlagen, die Anwendung bei der Antireflexbeschichtung finden wie auch schlüsselfertige Cluster-Konzepte zur Herstellung kristalliner Silizium-Solarzellen. Zusätzlich bietet Roth & Rau thermische Produktionssysteme für die Emitter-Diffusion an.

Gegründet wurde das Unternehmen 1990 als Roth & Rau Oberflächentechnik GmbH von Dr. Dietmar Roth, Dr. Bernd Rau und Silvia Roth. In den darauffolgenden Jahren stand vorwiegend die Technologieentwicklung – bspw. Plasma- sowie Ionenstrahlquellen – im Mittelpunkt. 1999 kamen dann durch Inbetriebnahme der global ersten industrietauglichen In-Line-Siliziumnutrid-Beschichtungsanlage „SiNA“ Produkte für die Photovoltaik auf den Markt. Zwei Jahre später änderte das Unternehmen seine Rechtsstruktur und firmiert seither als Roth & Rau AG. Der daraus resultierende Börsengang wurde erst 2006 in Frankfurt vollzogen. Anschließend folgten die Eröffnung einer Niederlassung in China sowie Übernahmen anderer Firmen (z.B. Spezialsoftwareanbieter AIS Automation Dresden GmbH).

Roth & Rau führt seine Geschäfte vom Firmensitz in Hohenstein-Ernstthal aus und ist seit 2008 im TecDAX gelistet. Ein Jahr darauf erhielten die Gründer – Dr. Dietmar Roth, Dr. Bernd Rau, Dr. Silvia Roth – den Ernst & Young Unternehmerpreis „Entrepreneur des Jahres“ für ihre Leistungen im Segment Industrie.