
Tokyo Electron besteht aus Segmenten, die auf Produkten und Dienstleistungen der Geschäftseinheiten basieren, nämlich "Halbleiter-Produktionsanlagen (SPE)", "Flat Panel Display (FPD) Herstellungsausrüstung", "Photovoltaik-Panel (PV) Produktionsausrüstung" und "elektronische Bauteile und Computernetzwerke". SPE gehören Beschichter / Entwickler, Systeme für Plasmaätzen, Anlagen für thermische Prozesse, Single-Wafer-Beschichtungsanlagen, Reinigungssysteme, die in der Waferbearbeitung verwendet werden sowie im Wafertestprozess und anderen Halbleiter-Produktionsanlagen verwendete Waferprober. FPD Produktionsanlagen umfasst Beschichter / Entwickler und Plasmaätzen und Asche-Systeme, die bei der Herstellung von Flachbildschirmen eingesetzt werden. Produkte im Segment der PV-Produktionsanlagen bestehen aus Photovoltaik-Panel Produktionsanlagen, die zur Herstellung von Dünnschicht-Silizium-Photovoltaik-Module verwendet werden. Im März 2014 hat Tokyo Electron sein Aufgabengebiet beschränkt, um Unterstützung für zuvor gelieferte Geräte anzubieten.